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MEMS流量传感器

产物特色

能最大限制阐扬燃料电池发电效力的高精度MEMS流量传感器

手艺特色

利用气体流量测试手艺检测仅为1毫米/秒的气体流量

能最大限制阐扬燃料电池发电效力的高精度MEMS流量传感器

作为加重环境承担的新一代燃料电池体系零部件,MEMS流量传感器阐扬侧重要的感化。燃料电池的道理便是将都会燃气中含有的氢气与氧气夹杂在一路,发生化学反映停止发电。为了尽可能进步发电效力,须要使氢气与氧气在最好夹杂比率的环境下停止熄灭。为了到达这一目标,须要阐扬MEMS流量传感器的高精度测试手艺。

欧姆龙接纳首创的超纤细加工手艺,开辟了拆卸有流速检测元件的MEMS流量传感器。具有引觉得傲的天下最高等别活络度,乃至是1毫米/秒的气体流速变更也能切确检测。跟着燃料电池的提高,对欧姆龙小型、高机能MEMS流量传感器用处的等候也不时低落。

手艺拿手气体流量检测手艺

利用气体流量检测手艺,检测仅为1毫米/秒的气体流量

为了检测微量的流速,就须要减少装在MEMS流量传感器检测部位的MEMS流量传感器芯片。经由过程充实阐扬欧姆龙首创的高精度加工手艺,缔造出天下最小尺寸(1.55毫米 x 1.55毫米,厚0.4毫米)的芯片。其测试道理如图所示,在不气体活动的环境下以加热器为中间,温度散布摆布对称;若有气体活动,加热器排挤的风的上方就会变冷,风的下方就会变热,从而致使温度失衡。此温度差作为两个热电偶的电动势差,可用于检测流速及流量。

别的,经由过程利用欧姆龙首创的蚀刻手艺等,即便是这类超邃密的MEMS,也能高精度地完成品质不变的多量量出产。凭仗这类高度的MEMS出产性,欧姆龙大幅度下降了产物本钱,从而不只在燃料电池方面,还可普遍利用于检测紧密装备的空冷状况等各类范畴。

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